温調機器(サーモチラー)

半導体向け高機能タイプの SMC サーモチラー

  • 低温から高温領域まで対応できる冷凍式チラーと中高温向けフロンレスの水冷却式チラーに大きく分類されています。
  • 用途に合わせ、1 台サーモチラーで 1~3 チャンネルを個別温調可能なシングルタイプ、デュアルタイプ、トリプルタイプがあります。
  • 温度安定性は±0.1℃、温度レンジも-40℃~+200℃までワイドで対応します。
  • DC インバータ冷凍機とインバータポンプ搭載のダブルインバータタイプもラインナップし、さらに大きな省エネを実現しています。
  • 循環液はフッ素化液からはじめ、エチレングリコール 60%水溶液、清水・脱イオン水(純水)にも対応しています。
  • SMC のサーモチラーは省エネ以外にも省スペース・省配線・省配管・省工数を実現し、お客様のSDGs活動にも貢献します。