マスフローコントローラ HG200E

HG200EはEtherCATインタフェースを採用したPI(プレッシャーインセンシティブ)マスフローコントローラ(質量流量制御器)です。

PI制御により上流・下流圧の変動に対しても変動の無い優れた流量特性を実現しています。高い応答性、流量精度、再現性、そして信頼性を有し、半導体製造分野を初めとする様々なアプリケーション(CVD、PVD、拡散、エッチング等)に適しています。

特徴

  • 流量安定性:「PI機能」、「温度・圧力補償機能」等により環境条件の変動に対して高い流量精度を維持。
  • 応答性個体差レス:「流量応答性学習機能」により個体毎の特性を測定しそのばらつきを抑制。
  • 自己診断機能:本体に蓄積した履歴情報との照合により装置の健全性をチェック。
  • 高メンテナンス性:ドットマトリクスLCDやメモリカードの利用により、各種の設定・情報取得操作が容易。
    ファームウエア・プリセットガスの(FoE転送による)リモート更新に対応。

主な仕様

  • 製品名称:HG200E
  • 使用流体:気体
  • 計測方式:サーマルセンサー方式
  • 校正タイプ:MGMR(マルチガス・マルチレンジ)。5ガス分の設定(ガス種、流量等)を保持可。
  • 流量範囲:10~50,000sccm
  • 制御範囲:0.5~100%F.S.
  • 応答時間:0.3秒~
  • 通信方式:EtherCAT(CoE、FoEに対応) 
  • ETG-SEMIプロファイル準拠。

 

 

 

マスフローコントローラ HG200E

企業

Hitachi Metals, Piping Components Company

日立金属株式会社

Conformance tested

公式認証テスト合格製品