ファイバ同軸変位センサ ZW-7000シリーズ

「ZW-7000シリーズは、測定原理である「白色共焦点方式」を搭載し、さまざまな素材や形状の測定対象物の高さを、センサーヘッドを移動させながら連続してミクロンオーダーの高精度で測定できる非接触型変位センサーです。

特長

  • 「白色共焦点方式」により材質(鏡面、粗面、透明など)や形状(曲面、狭小スペースなど)の異なる部品が混在しても、センサーヘッドを静止することなく連続して高精度に高さを測定します。
  • 光沢ワークでも±25°の傾きまで測定
  • 各種材質でリニアリティ±0.5μm以内
  • 位置同期機能(EtherCAT®同期、外部トリガ同期)を搭載し、移動と測定タイミングを正しく同期できるため、移動しながら狙った箇所を高精度に測定できます
  • センサーヘッドは約180gと軽量なため、ロボットアームやXYステージにセンサーヘッドを取り付けて移動しながら測定する場合、センサーヘッドに掛かる振動が停止するまでの時間を短縮します。

定格

  • 電源電圧:DC21.6~26.4V(リップル含む)
  • 通信インタフェース:EtherCAT、Ethernet、RS-232C、アナログ出力、パラレルI/O
  • 測定周期:20μs~400μs
  • 測定範囲:10±0.5mm、20±1mm、30±2mm
  • 静止分解能:0.004~0.016μm

 

 

 

ファイバ同軸変位センサ ZW-7000シリーズ

企業

OMRON

オムロン株式会社

詳細情報

Conformance tested

公式認証テスト合格製品