ETG.5003 Semiconductor Device Profile

The ETG.5003 Semiconductor Device Profile series consists of the following parts:

  • Part 1: Common Device Profile
    The Common Device Profile (CDP) specifies requirements applicable to all devices described in the Specific Device Profiles. Furthermore, it describes features and functionalities which shall be further defined in the Specific Device Profiles.
  • Part 2xxx: Specific Device Profiles
    The Specific Device Profiles (SDP) are based on Part 1 (CDP) and define the data structure of the specific devices. For a complete specification of a device used in the semiconductor manufacturing industry an SDP shall be read complementary with the CDP.

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  描述 语言 类别 日期 大小 版本 状态
仅供会员members-yes ETG.5003 Semiconductor Device Profile EN DOC 2021年6月28日 Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.0000d Specific Device Profile (SDP) Design Guideline EN  ZIP  2021年7月15日  1,41 MB 1.0.2  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.1 Common Device Profile (CDP) EN  PDF  2013年6月25日  0,91 MB 1.1.0  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.1 CDP Object Dictionary EN  ZIP  2018年7月11日  0,35 MB   Draft for Review 
仅供会员members-yes ETG.5003.0002 Firmware Update EN  PDF  2021年5月5日  0,23 MB 1.0.1  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2000 Abatement and Sub Fab Systems EN  ZIP  2019年9月16日  0,74 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2000 Abatement and Sub Fab Systems (ASF) - Object Dictionary EN  ZIP    0,65 MB OD 1.2.2  Draft for Review 
仅供会员members-yes ETG.5003.201x DC & RF Power Generator EN  ZIP  2019年9月16日  1,43 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2020 Mass Flow Controller (MFC) incl. OD EN  ZIP  2021年6月28日  1,31 MB 1.2.0  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2030 Process Control Valve EN  PDF  2014年4月10日  7,21 MB 1.0.0  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2040 RF Match EN  ZIP  2019年9月16日  0,82 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2050 Roughing Pump EN  ZIP  2019年9月16日  0,86 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2060 Temperature Controller EN  ZIP  2019年9月16日  0,86 MB 1.2.0 (OD 1.2.0)  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2060: Temperature Controller (TC) Object Dictionary EN  ZIP  2021年10月13日  0,11 MB 1.2.2  Draft for Review 
仅供会员members-yes ETG.5003.2070 Turbo Pump EN  ZIP  2019年9月16日  0,74 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.2080 Vacuum Pressure Gauge EN  ZIP  2019年9月16日  1,65 MB 1.3.0 (OD 1.4.0)  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003.3000 Chiller EN  ZIP  2019年9月16日  0,83 MB 1.0.0 (OD 1.0.0)  Release 
仅供会员members-yes ETG.5003 Comment Form EN  DOC  2018年7月11日  0,02 MB