ETG.5003 半導体製造装置向けデバイスプロファイル

ETG.5003 半導体製造装置向けデバイスプロファイルシリーズは以下のパートで構成されています。

  • Part 1: Common Device Profile(共通デバイスプロファイル)
    共通デバイスプロファイル(CDP)は、特定デバイスプロファイル(SDP)に記載されているすべてのデバイスに適用される要件を規定しています。さらに、特定デバイスプロファイルでさらに定義されるべき機能や特徴も定義されています。
  • Part 2xxx: Specific Device Profiles(特定デバイスプロファイル)
    特定デバイスプロファイル(SDP)はPart 1 (CDP)に基づいており、特定のデバイスのデータ構造を定義しています。半導体製造業界で使用されるデバイスの完全な仕様については、CDPと相補的にSDPを読む必要があります。

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  説明 言語 タイプ 日付 サイズ Ver. ステータス
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003 Semiconductor Device Profile EN ZIP 2021/06/28 Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.0000d Specific Device Profile (SDP) Design Guideline EN  ZIP  2021/07/15  1,41 MB 1.0.2  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.1 Common Device Profile (CDP) EN  PDF  2016/10/25  0,91 MB 1.1.0  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.1 CDP Object Dictionary EN  ZIP  2018/07/11  0,35 MB   Draft for Review 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.0002 Firmware Update EN  PDF  2021/05/05  0,23 MB 1.0.1  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2000 Abatement and Sub Fab Systems EN  ZIP  2019/09/16  0,74 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2000 Abatement and Sub Fab Systems (ASF) - Object Dictionary EN  ZIP    0,65 MB OD 1.2.2  Draft for Review 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.201x DC & RF Power Generator EN  ZIP  2019/09/16  1,43 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2020 Mass Flow Controller (MFC) incl. OD EN  ZIP  2021/06/28  1,31 MB 1.2.0  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2030 Process Control Valve EN  PDF  2014/04/10  7,21 MB 1.0.0  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2040 RF Match EN  ZIP  2019/09/16  0,82 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2050 Roughing Pump EN  ZIP  2019/09/16  0,86 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2060 Temperature Controller EN  ZIP  2019/09/16  0,86 MB 1.2.0 (OD 1.2.0)  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2060: Temperature Controller (TC) Object Dictionary EN  ZIP  2021/10/13  0,11 MB 1.2.2  Draft for Review 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2070 Turbo Pump EN  ZIP  2019/09/16  0,74 MB 1.1.0 (OD 1.2.0)  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.2080 Vacuum Pressure Gauge EN  ZIP  2019/09/16  1,65 MB 1.3.0 (OD 1.4.0)  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003.3000 Chiller EN  ZIP  2019/09/16  0,83 MB 1.0.0 (OD 1.0.0)  Release 
メンバーエリアmembers-yes ETG.5003 Comment Form EN  DOC  2018/07/11  0,02 MB