プレスリリース

2011年に設立されたEtherCAT Technology Group , SEMI Technical Working Groupの目的は半導体産業用のEtherCAT標準規格の開発です。すなわち基本通信は「どのように」行うかは当然変わりませんが、デバイスプロファイルはマスフローコントローラーや高真空ポンプ、プラズマや高周波ジェネレーターといった業界特有のデバイスに必要な「何を」行うかを定義します。ワーキンググループは年に2回、数日間にわたって会合を開いています。パンデミック以来、カリフォルニアのシリコンバレーとオンラインで交互に開かれているこの会議には、定期的に50〜80人のエキスパートが参加しています。その中には、デバイスのサプライヤーや半導体製造装置のメーカーも含まれています。そしてユーザーであるチップメーカーも常に出席しています。このように、サプライヤーとチップメーカーの双方の要求をもとに作成された仕様書は半導体サプライチェーン全体の要件を満たしています。

先日開催された第24回会議で、タスクグループの貢献により次の4つの仕様が新たに承認されました： 液体流量コントローラー用、ウェハー処理チャンバー向け温度センサー用、電圧・電流周波数分析向けセンサー用、特殊プロセス制御バルブ用の各種デバイスプロファイル また、今回の会議では、発光分光分析（OES）用デバイスプロファイルの開発を目的としたタスクグループも発足しました。このプロファイルはEtherCATプロトコルの帯域幅を効率的に活用できる利点があります。半導体産業向けEtherCATデバイスプロファイルシリーズは合計24仕様になりました。

2024年5月にシリコンバレーで開催される25周年記念会合では、アプライド マテリアルズとLAMリサーチという2つの業界大手がワーキンググループを主催し、業界の専門家達が直接顔を合わせます。定期的に集まることで、TWG Semiの長期にわたる信頼と協力関係を維持・強化しています。