気体用マスフローコントローラ/メータ

マスフローコントローラMC-5000C/マスフローメータMM-5000Cは、EtherCATインターフェイスを採用したデジタル通信高性能マスフローコントローラ/メータです。EtherCATを使用することにより小配線で効率の良いガスシステムを構築することができます。センサは新開発の熱式質量流量センサを採用しており、高精度・長期安定性を実現しています。また、MC-5000Cはノーマリクローズ大流量でありながらピエゾバルブを採用し高速応答を可能としています。

• MC-5000C-MCシリーズの主な仕様
• MC-5450C-MC N2 50SLM
• MC-5460C-MC N2 100/150SLM
• MC-5470C-MC N2 200SLM
• MC-5580C-MC N2 300SLM
• 必要電源
• DC24V, 350mA
• 標準継手
• 50～200SLM：9.52ｍｍVCRtype 、300SLM：12.7ｍｍVCRtype
• 応答速度
• 1.0秒(代表値)

*小流量タイプは現在開発中

• EtherCAT通信仕様
• 通信規格：EtherCAT専用プロトコル
• 伝送速度：100Mbps
• 物理層　：100BASE-TX （IEEE802.3）
• 接続コネクタ：RJ45 コネクタ×2
• 接続        ：デイジーチェーン
• 通信ケーブル長：各コントローラ間100m以内
• ノードアドレス設定：16進ロータリスイッチ×2
• ノードアドレス範囲：1～255　ロータリスイッチによる設定